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AFM测量中几何针尖样品效应的神经网络评价

25    2020-06-30    发布者:中国测试杂志社    来源:

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原子力显微镜(AFM)中探针头的几何设计对扫描测量图像的质量有着重要的影响,而扫描图像的质量与被测样品表面的粗糙度直接相关。当选择一个不合适的探针头来扫描给定的样品表面时,这可能会产生成像伪影,这是由于被扫描表面的真实图像将被针尖在形态上放大而引起的。本文利用多层神经网络,通过考虑表面粗糙度和AFM刚性探针头的几何形状,预测这些成像伪影对AFM测量精度的影响。利用模拟AFM测量数据对神经网络进行训练,结果表明,神经网络对训练集和测试集都具有良好的拟合度。使用这种机器学习方法来评估针尖样品的效果,可以快速有效地选择探针尖端,从而降低原子力显微镜测量的操作成本。

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