作者：李 灏， 郑世棋， 乔玉娥， 丁立强， 梁法国
作者单位：中国电子科技集团公司第十三研究所，河北 石家庄 050051
关键词：源表; 微小电流校准; 取样电阻; Guard 技术; 适配器
摘要：
针对具有 Guard 保护端的源表类仪器皮安级电流不易计量的现状，采用取样电阻法的间接测量方案，完成微 小电流的有效校准。为解决方案中高源内阻电压精确测量的难题，对源表类仪器广泛采用的 Guard 保护技术原理进 行分析，建立高源内阻电压精确提取模型。研制低电流适配器，组建校准系统，编写自动校准程序，并完成低至 1 pA 的微小电流校准实验。数据表明：实验结果同上级校准值一致性良好，校准方法能够对具备 Guard 端口的源表类仪 器实现微小电流的有效校准。
