作者：郭伟¹, 汪荣青², 胡俊强³, 李顶根³

作者单位：1. 中船重工集团公司第七○一研究所, 湖北 武汉 430064;
2. 浙江机电职业技术学院, 浙江 杭州 310053;
3. 华中科技大学, 湖北 武汉 430074

关键词：热学; 最佳距离; 温度场分析; 加速度; 热对流; 单轴; 六面体腔

摘要：

为优化微机械热对流加速度计的结构布置和加工流程,提高其测量精度和灵敏度,采用了成本低廉、技术成熟的牺牲层技术和Si-SiO2?SiO2-Si键合技术设计制作了六面体腔型式的微机械热对流加速度计模型,并通过对这种结构的模型进行温度场分析。当微机械热对流加速度计具有最高的灵敏度时,热敏元件与加热元件的最佳距离区间为[430 m,440 m]。

Thermal analysis of single-axis MEMS convective accelerometer

GUO Wei¹, WANGRong-qing², HU Jun-qiang³, LI Ding-gen³

1. China Ship Design and Development Center, Wuhan 430064, China;
2. Zhejiang Institute of Mechanical and Electric Engineering, Hangzhou 310053, China;
3. Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China

Abstract: In order to optimize structure design and fabrication of the MEMS convective accelerometer, and to improve its precision and sensibility, the technologies of sacrificial layer and Si-SiO₂?SiO₂-Si amalgamations were used to make models, and the temperature distributions were discussed. Analytic results show that the accelerometer has the highest sensibility when the distance between heater and detectors is in[430 μm, 440 μm].

Keywords: thermology; optimal distance; thermal analysis; acceleration; convective heat transfer; single-axis; hexahedron

2012, 38(2): 42-45  收稿日期: 2011-4-24;收到修改稿日期: 2011-7-11

基金项目: 

作者简介: 郭伟(1976-),男,湖北仙桃市人,工程师,硕士,主要从事结构分析与设计工作。

参考文献

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